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兰州净化工程已经是净化行业里不可或缺的一部分,因为现在人们生活条件越来越好了也就对各方面的要求高了,兰州洁净车间也就越来越多了,洁净车间的各方面的要求也是比较严格的,下面兰州净化工程师给大家分享一下兰州洁净车间的温湿度的控制:
兰州洁净车间 洁净空间的温度和湿度主要是根据工艺要求确定的,但在满足工艺要求的同时,还要考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,对温度和湿度的要求有越来越严格的趋势。对温度的具体工艺要求以后会列出来,但作为总的原则,由于加工精度越来越精细,对温度波动范围的要求越来越小。例如,在大规模集成电路生产的光刻工艺中,要求作为掩膜材料的玻璃和硅片的热膨胀系数差异越来越小。直径为100 um的硅片,温度升高1度会线性膨胀0.24um,所以必须保持恒温0.1度。
兰州洁净车间 同时湿度值一般较低,因为人出汗后,产品会受到污染,尤其是怕钠的半导体车间。这个车间的温度不能超过25度,湿度过大会产生更多的问题。当相对湿度超过55%时,冷却水管管壁会发生结露,如果发生在精密器件或电路中,会引发各种事故。相对湿度50%时容易生锈。此外,当湿度过高时,附着在硅片表面的灰尘会被空气中的水分子化学吸附在表面,难以去除。相对湿度越高,去除附着越困难,但相对湿度低于30%时,由于静电力的作用,颗粒容易吸附在表面,大量半导体器件容易击穿。硅片生产的.佳湿度范围是35-45%。
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